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液氮真空管道簡介
液氮真空管道
簡介
液氮真空管道,吸收量每噸可吸收大約200g的氣體,特點高純度、高潔凈。
液氮真空管道中所有高純度、高潔凈的氣體均需通過管路輸送到儀器用點(POU),為了達到儀器對氣體的質(zhì)量要求,在氣體出口指標一定的情況下,則更需重視配管系統(tǒng)的材料選用和施工質(zhì)量。除取決于制氣或凈化設(shè)備的精度外,在很大程度上受到管路系統(tǒng)諸多因素的影響,因此,管材的選取應恪守相關(guān)行業(yè)原則,并注明管道材質(zhì)
液氮真空管道的材質(zhì)則依使用的需求進行選擇,316L BA管常使用于和芯片接觸但不參與過程反應的氣體。管內(nèi)表面粗糙度是衡量管材質(zhì)量的標準。粗糙度越低,其顆粒攜帶可能性大大降低。
潔凈氮氣管道在不銹鋼熔煉制材過程中,每噸可吸收大約200g的氣體。不銹鋼材加工完畢,不僅其表面粘有各種污染物,而且在其金屬晶格內(nèi)也吸留有一定量的氣體。當管路中有氣流通過時,金屬所吸留的這部分氣體會重新進入氣流中,污染純凈氣體。當管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動時。
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